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等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
1：微波激发区
等离子净化
本工艺有3至9个微波激发单位，根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限，本设计只是把微波作为初频激发源，在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能，的提高等离子体区，极板区的激发能力和处理效果，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。
2：低温等离子体激发
本工艺有40支至240支充有气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的技术，从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，较大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有的能量平衡性，在粒子撞击中失能，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，较大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
3:极板区
根据被处体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自由离理论，在常压或接近常压的条件下有相当概率的粒子可能实现低温等离子体。
根据三类的功能区，集中的目的是实现低温等离子体，由于理论和实际使用条件上的区别，单一的方法获得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在差距。
电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、极板放电与一体，在实际使用中实现废气的处理是极为复杂的过程，整个过程在不到1秒的时间内完成。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方式的集中放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分断裂，在雪崩式的撞击中断裂后的粒子由于质量小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。同时由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，去除不同范畴的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。
等离子净化器优点：占地面积小；反应，等离子废气净化器处理效果好，等离子废气净化器可将恶臭物质分解；启动、停止，即开即用，不受气温影响，操作简单；反应过程中只需用电，不用投加其他辅助药剂和填料。
等离子净化器处理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境于一体的交叉综合性技术，该技术显著特点是对污染物兼具物理效应、化学效应和生物效应，且有能耗低、、无二次污染等明显优点。其净化作用机理包含两个方面：
一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间足够打开一些气体分子的化学能，使之分解为单质原子或分子；
二是等离子体中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得气体分子。与气体分子发生化学反应，终生成产物。
低温等离子体中能量的传递大致为：电子从电场中能量，通过碰撞将能量转化为分子的内能和动能，获得能量的分子被激发，与此同时，部分分子被电离，这些活化了的粒子相互碰撞从而引起一系列复杂的物理化学反应。因等离子体内富含的大量活性粒子如离子、电子、激发态的原子和分子及自由基等，从而为等离子体技术通过化学反应处理异味物质提供了条件。它是基于放电物理、放电化学、反应工程学的学科之上的交叉学科。近几十年来，有关等离子体技术的研究非常活跃，为合成新物质、新材料及环境污染治理等提供了一种、新方法和新工艺。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
等离子净化器技术注意事项：
1、恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV光子的能量要低。
2、裂解反应的时间（＜0.01s），氧化反应（见反应④）的时间需2-3s。
3、提供的UV光子总功率不够或者含氧量不足，会因为裂解或氧化不而生成一些中间副产物，从而影响净化效率。对于大分子的恶臭物质体现得较为明显。
4、UV光解净化的长期稳定、，需要反应温度＜70℃，粉尘量＜100mg/m³，相对湿度＜。
5、条件满足的情况下，UV光解净化的净化。
